能量色散X射線分析基于X射線熒光(X-Ray Fluorescence,XRF)原理。當高能X射線照射到樣品表面時，原子內部的電子會被激發至高能級，隨后躍遷回低能級時會釋放出特征X射線，即X射線熒光。這些特征X射線的能量與其原子序數直接相關，因此通過檢測并分析這些X射線的能量分布，就能準確識別樣品中的化學元素及其含量。

　　在實際應用中，能量色散X射線分析儀通常作為掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope,SEM）或透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope,TEM）的附件使用，實現從微觀尺度上進行精確的元素分布和定量分析。此外，獨立的便攜式能量色散X射線分析設備也在現場勘查、礦產資源評估、環保污染物監測、產品質量控制等方面展現出顯著優勢。

　　能量色散X射線分析具有諸多優點：首先，它無需復雜的樣品預處理，可以對固體、粉末、液體甚至薄膜等各種形態的樣品進行直接分析；其次，其分析速度快、測量精度高，能夠有效滿足實驗室及現場實時分析的需求；再者，該技術能夠同時測定多種元素，且對輕元素也有較好的檢測能力，這在多元復雜體系的研究中尤為重要。